无尘室洁净度等级标准（美标）
无尘室洁净度等级标准（美标）就是美国联邦标准无尘车间级别，其标准内容主要从空气中尘粒直径在0.1um、0.2um、0.3um、0.5um、5um五个限定值进行了规定要求，从而划分出9个无尘车间洁净等级，具体的尘粒直径限定要求如下表：
|
ISO-146441-1 |
FED STD |
209E |
CLASS |
Number of Par Cubic Meter by Micrometer Size |
|||||
|
ISO Class |
English |
Metric |
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1um |
5um |
|
|
m3 |
m3 |
m3 |
Ft3 |
m3 |
|||||
|
1 |
ISO1 |
10 |
2 |
||||||
|
2 |
ISO2 |
100 |
26 |
10 |
4 |
||||
|
3 |
1 |
M1.5 |
ISO3 |
1000 |
265 |
106 |
35 |
||
|
4 |
10 |
M2.5 |
ISO4 |
10000 |
2650 |
1060 |
10 |
353 |
|
|
5（百级） |
100 |
M3.5 |
ISO5 |
100000 |
26500 |
10600 |
100 |
3530 |
29 |
|
6（千级） |
1000 |
M4.5 |
ISO6 |
1000000 |
265000 |
106000 |
1000 |
35300 |
293 |
|
7（万级） |
10000 |
M5.5 |
ISO7 |
10000 |
353000 |
2930 |
|||
|
8（十万级） |
100000 |
M6.5 |
ISO8 |
100000 |
3530000 |
29300 |
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