净化车间等级评定方法:检测区域内尘埃粒子数、浮游菌数、落菌数及自净换气数来衡量净化级别,目前净化车间等级分为:1级、10级、百级、千级、万级、十万级、三十万级这7个等级。各等级的具体参数标准如下:
1、1级净化车间标准要求
大或等于0.1um的粒子数不得超过1000个,大或等于0.2um的粒子数不得超过237个,大或等于0.3um的粒子数不得超过102个,大或等于0.5um的粒子数不得超过35个,大或等于1.0um的粒子数不得超过8个。
2、10级净化车间标准要求
10级在0.2μm(尘粒尺寸在0.2μm或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1μm(尘粒尺寸在0.1μm或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。
3、百级净化车间标准要求
洁净度:粒径大于等于0.1微米的最大微粒数不能大于100个。
压差及温湿度:温度22℃±2;
湿度55%±5;
根柢需求满布ffu,做高架地板。
做MAU+ffu+DC体系。
还有坚持正压,相邻房间压力梯度保证在10pa左右。
4、千级净化车间标准要求
大或等于0.1um的粒子数不得超过1000个,大或等于0.2um的粒子数不得超过237个,大或等于0.3um的粒子数不得超过102个,大或等于0.5um的粒子数不得超过35个,大或等于1.0um的粒子数不得超过8个
① 温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。
② 新风量:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。
③ 送风量:要满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡。
5、万级净化车间标准要求
1.尘粒最大允许数(每立方米);
2.大或等于0.5微米的粒子数不得超过350000个,大或等于5微米的粒子数不得超过2000个;
3.微生物最大允许数;
4.浮游菌数不得超过100个每立方米;
5.沉隆菌数不得超过3个每培养皿。
压差:相同洁净度等级的洁净室压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa,洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。
万级洁净室对温度、湿度无特殊要求时,以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜,温度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波动±2℃。冬季洁净室湿度控制在30-50%,夏季洁净室湿度控制在50-70%。
6、十万级净化车间标准要求
尘粒最大允许数大或等于0.5微米的粒子数不得超过350000个,大或等于5微米的粒子数不得超过2000个。
换气次数:十万级10-15次/小时。
压差:主车间对相邻房间≥5Pa。
温度:冬季>16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;
相对湿度:45-65%(RH);
噪声≤65dB(A);
新风补充量:总送风量的20%-30%; 照度:≥300Lux。
7、三十万级净化车间标准要求
每立方米大于或等于0.5μm的尘粒最多不能超过10,500,000个;每立方米大于或等于5μm的尘粒最多不能超过60,000个;每立方米浮游菌数量最多不能超过1000个。
换气次数:每小时换气次数不能小于12次。
压差:不同洁净级别洁净室(区)之间,静压差大于或等于5PA;洁净室(区)与室外,静压差大于或等于10PA。
温度:18~28℃;
相对湿度:45~65%(RH);
噪声≤65dB(A);
新风补充量:总送风量的20%-30%; 照度:≥300Lux。
附表:
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